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重生1980,骆驼王子请我去种菜

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第290章 高卢国际工业展览会上的尴尬(1/3)
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    高卢,国际工业展览会。

    展厅很大,典雅豪华,就像是雄伟的宫殿一样。

    在这展厅之中,一台来自东方的光刻机,吸引了所有人的目光。

    “各位,这是我们东方华清大学研制的自动对准分步投影式光刻机,使用它可以实现最细08微米的线宽加工……”

    展台前面,一名五十来岁的老干部,满脸骄傲地给一众西方人介绍。这可是国际工业的盛会,东方还是第一次参加,能拿得出手的东西可不多,但是,这光刻机绝对是其中之一!

    现在,把这个展示出来,可以展示东方工业的风采,这可是个向全世界介绍东方的好机会,绝对不能有闪失!

    “请问,这个自动对准是什么意思?”很快,一名西方专家就闻声而来,开口询问。

    “这个是指光刻机能够自动调整硅片和掩膜版之间的对焦,这样可以保证图案能够精确复刻到硅片上。”老干部信心十足地介绍,这些都是提前背过的,难不倒他!

    “请问,这是怎么自动调整的?”

    “这个嘛……”老干部一时间语塞了。

    这个没背过!

    “它使用的是电机调整,还是液压调整?”

    “对焦的原理是什么,它怎么知道已经对焦成功的?”

    一问三不知!

    老干部赶紧看向身后的几名一起出国的人员,他们纷纷低头,他们也不知道啊!

    设备是华清大学搞的,出国名额有限,所以就没有分配给这些设备的研发人员,现在是一问三不知啊!显然,那些外国人已经怀疑了:你们该不会是吹牛吧?

    “请问,这个分步投影……”

    这个背过!老干部开口:“这是分布曝光的方式,每次只曝光一个小区域,然后移动硅片到下一个区域继续曝光,直至整个晶圆上的电路图案全部复刻上去,这样做的好处是可以让光刻机处理大尺寸晶圆,四英寸,六英寸,甚至八英寸的都可以……”

    “那每次曝光的区域是多大?”

    “曝光之后的移动,如何保证边缘部分的重合?”

    “如果一次不够,是否可以多次曝光?”

    一个个专业问题提出来,老干部
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