术讲解。
大屏幕上,此时显示出一束激光示意图。这束激光的波长为193纳米,激光粒子更加细化,达到准分子级别。
“我们的团队认为,利用这种光源来曝光光刻的光刻机,将会是下一代光刻机的主流形态!”
胡明镇说出自己的猜想。
他这种预判非常准确,已经接近事实。
许振鸣通过特殊的渠道,收集到岛国的尼康公司正在研发深紫外光源(DUV)的消息。听说尼康公司准备用这种ArF的卤化物激光做光源,应用到新一代的光刻机上面。
他没有想到,胡明镇的团队也踏出那一步。
这真是可喜可贺啊!
“各位同事,ArF激光的波长正好是193纳米,我们的团队已经在收集这种激光发生器,准备用来做理论模型试验。不过,这种新一代光刻机的项目,还要通过集体公司批准才能立项的。”
这时,胡明镇已经向许振鸣发出申请,准备启动第四代光刻机的研究计划。
但许振鸣却不这么看。
“胡总,这个问题咱们还是放在三天以后的集团会议上再考虑吧。”许振鸣朝胡明镇使了个眼色,示意他快点结束自己的成果汇报。
胡明镇看了看许振鸣,却还是不了解老板的意图。